中心主任

首席科学家

中心概况

• 针对半导体产业技术难题，从装备角度开展工艺创新、关键零件设计与加工、质量检测评价和整机集成等技术探索，开展半导体材料设计与制造、激光加工等多学科交叉研究。研发关键生产工艺装备及核心零部件，为解决我国半导体产业发展中的关键问题提供技术与装备支持。